電子光學(xué)產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)推動了電子光學(xué)潔凈廠房的發(fā)展，兩者相互促進(jìn)，電子光學(xué)潔凈廠房的建造滿足了電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝環(huán)境要求。那么，要如何建造電子光學(xué)潔凈廠房呢?今天就隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來了解下吧!

　　電子光學(xué)潔凈廠房的設(shè)計建造和使用應(yīng)做到不引入或少引入微粒，不產(chǎn)生或少產(chǎn)生微粒，不滯留或少滯留微粒。此外。電子光學(xué)潔凈廠房還對溫度、濕度、壓力等參數(shù)按產(chǎn)品生產(chǎn)要求進(jìn)行控制。而根據(jù)產(chǎn)品要求需對潔凈室內(nèi)的氣流分布、氣流速度以及噪聲、振動、靜電等進(jìn)行控制。

　　電子光學(xué)潔凈廠房的設(shè)計和建造就是要在做好相關(guān)專業(yè)設(shè)計的基礎(chǔ)上，做好各項設(shè)施消防、防火、防爆、報警，確保潔凈室的運行。與此同時，他還要處理好電源、冷源、熱源等動力供應(yīng)，節(jié)約能源：安排好各類配管配線，確保各種流體介質(zhì)的輸送力量，減少材料消耗，方便施工安裝和運行維護(hù)。

　　一、前期規(guī)劃與準(zhǔn)備

　　1、需求分析：明確廠房規(guī)模、產(chǎn)能、工藝要求，確定潔凈度等級(萬級)、溫濕度范圍(通常溫度24±2℃，相對濕度55±5%)、換氣次數(shù)(≥20次/小時)等核心參數(shù)。

　　2、選址與布局：選擇地質(zhì)穩(wěn)定、環(huán)境清潔的區(qū)域，合理劃分生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)、辦公區(qū)、倉儲區(qū)及凈化空調(diào)系統(tǒng)區(qū)域，確保物流與人流分離，減少交叉污染。

　　3、資金與資源籌備：根據(jù)預(yù)算編制詳細(xì)成本計劃，提前采購進(jìn)口設(shè)備(如高效過濾器、防靜電地板)及特殊材料(如PVC地板、巖棉板)，避免工期延誤。

　　二、結(jié)構(gòu)設(shè)計優(yōu)化

　　1、建筑形式：采用單層輕鋼結(jié)構(gòu)或鋼筋混凝土框架，大跨度設(shè)計(如15m、30m)形成大空間，便于工藝布局調(diào)整。

　　2、圍護(hù)結(jié)構(gòu)：

　　墻體：雙層玻璃幕墻或巖棉夾芯彩鋼板，內(nèi)外層間填充巖棉保溫，接縫處用密封膠封堵。

　　屋面：輕鋼結(jié)構(gòu)屋面，加設(shè)保溫層與防水層，坡度≥5%防止積水。

　　門窗：減少門窗數(shù)量，采用氣密性良好的雙層中空玻璃門和固定窗，門框嵌入密封條。

　　3、技術(shù)夾層：在吊頂上方設(shè)置技術(shù)夾層，用于敷設(shè)管道、電纜及安裝空調(diào)設(shè)備，減少對生產(chǎn)區(qū)的干擾。

　　三、通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計

　　1、空氣凈化流程：新風(fēng)→初效過濾器→中效過濾器→空調(diào)機組→高效過濾器(HEPA)→送風(fēng)管道→潔凈區(qū)→回風(fēng)百葉窗→初效過濾器，形成閉環(huán)凈化。

　　2、氣流組織：

　　萬級區(qū)域：采用頂送側(cè)回亂流形式，高效過濾器布置在頂棚，回風(fēng)口設(shè)在墻面下方。

　　局部百級：在關(guān)鍵工序(如光刻)設(shè)置垂直層流工作臺，氣流方向與重力一致，減少顆粒沉積。

　　3、設(shè)備選型：

　　空調(diào)機組：模塊化設(shè)計，支持變頻調(diào)節(jié)，根據(jù)負(fù)荷動態(tài)調(diào)整送風(fēng)量。

　　風(fēng)機：選用低噪音、高效能離心風(fēng)機，風(fēng)壓滿足管道阻力要求。

　　過濾器：初效過濾效率≥80%，中效≥90%，高效(HEPA)≥99.97%。

　　四、防靜電與防震動控制

　　1、防靜電設(shè)計：

　　地面：鋪設(shè)防靜電環(huán)氧自流平或PVC地板，電阻值1×10?~1×10?Ω。

　　墻面與頂面：采用防靜電涂層或?qū)щ娦筒输摪?，接地電阻?Ω。

　　設(shè)備與工具：使用防靜電工作臺、離子風(fēng)機及導(dǎo)電輪推車，人員穿戴防靜電服、鞋和腕帶。

　　2、防震動控制：

　　設(shè)備基礎(chǔ)：精密儀器(如光刻機)采用獨立混凝土基礎(chǔ)，與廠房結(jié)構(gòu)脫開。

　　管道支架：加裝橡膠減震墊，避免空調(diào)機組、風(fēng)機等振動傳遞至潔凈區(qū)。

　　五、給排水與電氣系統(tǒng)設(shè)計

　　1、給排水系統(tǒng)：

　　給水：采用不銹鋼管道，支管設(shè)置倒流防止器，水質(zhì)符合《電子級水》標(biāo)準(zhǔn)。

　　排水：暗敷排水管道，坡度≥1%，地漏采用潔凈型，水封高度≥50mm。

　　純水系統(tǒng)：設(shè)置預(yù)處理、反滲透、EDI模塊，產(chǎn)水電阻率≥18MΩ·cm，管道采用衛(wèi)生級不銹鋼或Clean-PVC。

　　2、電氣系統(tǒng)：

　　供電：雙回路供電，關(guān)鍵設(shè)備(如空調(diào)機組)配置UPS不間斷電源。

　　照明：采用LED潔凈燈，照度≥300lx，無頻閃、無紫外線。

　　消防：設(shè)置極早期煙霧探測器，采用七氟丙烷氣體滅火系統(tǒng)，避免水漬損失。

　　六、施工安裝與質(zhì)量控制

　　1、施工流程：

　　基礎(chǔ)施工：優(yōu)先完成設(shè)備基礎(chǔ)及地下管道敷設(shè)，避免后期開挖破壞潔凈區(qū)。

　　主體結(jié)構(gòu)：同步進(jìn)行鋼結(jié)構(gòu)安裝與圍護(hù)結(jié)構(gòu)封閉，縮短工期。

　　裝飾裝修：先安裝防靜電地板，再施工墻面與頂面，最后安裝門窗及過濾器。

　　2、關(guān)鍵工序控制：

　　管道焊接：不銹鋼管道采用氬弧焊，層間溫度≤60℃，焊縫內(nèi)表面呈銀白色。

　　過濾器安裝：高效過濾器安裝前進(jìn)行檢漏測試，漏風(fēng)率≤0.1%。

　　地面施工：環(huán)氧自流平分兩遍涂刷，每遍厚度≤1mm，24小時內(nèi)禁止通行。

　　3、質(zhì)量驗收：

　　潔凈度測試：采用粒子計數(shù)器檢測≥0.5μm顆粒數(shù)，萬級標(biāo)準(zhǔn)≤3,520,000個/m3。

　　風(fēng)速與壓差：送風(fēng)風(fēng)速0.45±0.05m/s，相鄰潔凈區(qū)壓差≥5Pa。

　　通過以上措施，可顯著提升建造效率，確保電子光學(xué)潔凈廠房快速投產(chǎn)后穩(wěn)定達(dá)標(biāo)。建議選擇有電子行業(yè)經(jīng)驗的EPC總包商，減少接口風(fēng)險。