
潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項目地址:深圳
電子光學(xué)產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)推動了電子光學(xué)潔凈廠房的發(fā)展,兩者相互促進(jìn),電子光學(xué)潔凈廠房的建造滿足了電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝環(huán)境要求。那么,要如何建造電子光學(xué)潔凈廠房呢?今天就隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來了解下吧!
電子光學(xué)潔凈廠房的設(shè)計建造和使用應(yīng)做到不引入或少引入微粒,不產(chǎn)生或少產(chǎn)生微粒,不滯留或少滯留微粒。此外。電子光學(xué)潔凈廠房還對溫度、濕度、壓力等參數(shù)按產(chǎn)品生產(chǎn)要求進(jìn)行控制。而根據(jù)產(chǎn)品要求需對潔凈室內(nèi)的氣流分布、氣流速度以及噪聲、振動、靜電等進(jìn)行控制。
電子光學(xué)潔凈廠房的設(shè)計和建造就是要在做好相關(guān)專業(yè)設(shè)計的基礎(chǔ)上,做好各項設(shè)施消防、防火、防爆、報警,確保潔凈室的運行。與此同時,他還要處理好電源、冷源、熱源等動力供應(yīng),節(jié)約能源:安排好各類配管配線,確保各種流體介質(zhì)的輸送力量,減少材料消耗,方便施工安裝和運行維護(hù)。
一、前期規(guī)劃與準(zhǔn)備
1、需求分析:明確廠房規(guī)模、產(chǎn)能、工藝要求,確定潔凈度等級(萬級)、溫濕度范圍(通常溫度24±2℃,相對濕度55±5%)、換氣次數(shù)(≥20次/小時)等核心參數(shù)。
2、選址與布局:選擇地質(zhì)穩(wěn)定、環(huán)境清潔的區(qū)域,合理劃分生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)、辦公區(qū)、倉儲區(qū)及凈化空調(diào)系統(tǒng)區(qū)域,確保物流與人流分離,減少交叉污染。
3、資金與資源籌備:根據(jù)預(yù)算編制詳細(xì)成本計劃,提前采購進(jìn)口設(shè)備(如高效過濾器、防靜電地板)及特殊材料(如PVC地板、巖棉板),避免工期延誤。
二、結(jié)構(gòu)設(shè)計優(yōu)化
1、建筑形式:采用單層輕鋼結(jié)構(gòu)或鋼筋混凝土框架,大跨度設(shè)計(如15m、30m)形成大空間,便于工藝布局調(diào)整。
2、圍護(hù)結(jié)構(gòu):
墻體:雙層玻璃幕墻或巖棉夾芯彩鋼板,內(nèi)外層間填充巖棉保溫,接縫處用密封膠封堵。
屋面:輕鋼結(jié)構(gòu)屋面,加設(shè)保溫層與防水層,坡度≥5%防止積水。
門窗:減少門窗數(shù)量,采用氣密性良好的雙層中空玻璃門和固定窗,門框嵌入密封條。
3、技術(shù)夾層:在吊頂上方設(shè)置技術(shù)夾層,用于敷設(shè)管道、電纜及安裝空調(diào)設(shè)備,減少對生產(chǎn)區(qū)的干擾。
三、通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計
1、空氣凈化流程:新風(fēng)→初效過濾器→中效過濾器→空調(diào)機組→高效過濾器(HEPA)→送風(fēng)管道→潔凈區(qū)→回風(fēng)百葉窗→初效過濾器,形成閉環(huán)凈化。
2、氣流組織:
萬級區(qū)域:采用頂送側(cè)回亂流形式,高效過濾器布置在頂棚,回風(fēng)口設(shè)在墻面下方。
局部百級:在關(guān)鍵工序(如光刻)設(shè)置垂直層流工作臺,氣流方向與重力一致,減少顆粒沉積。
3、設(shè)備選型:
空調(diào)機組:模塊化設(shè)計,支持變頻調(diào)節(jié),根據(jù)負(fù)荷動態(tài)調(diào)整送風(fēng)量。
風(fēng)機:選用低噪音、高效能離心風(fēng)機,風(fēng)壓滿足管道阻力要求。
過濾器:初效過濾效率≥80%,中效≥90%,高效(HEPA)≥99.97%。
四、防靜電與防震動控制
1、防靜電設(shè)計:
地面:鋪設(shè)防靜電環(huán)氧自流平或PVC地板,電阻值1×10?~1×10?Ω。
墻面與頂面:采用防靜電涂層或?qū)щ娦筒输摪?,接地電阻?Ω。
設(shè)備與工具:使用防靜電工作臺、離子風(fēng)機及導(dǎo)電輪推車,人員穿戴防靜電服、鞋和腕帶。
2、防震動控制:
設(shè)備基礎(chǔ):精密儀器(如光刻機)采用獨立混凝土基礎(chǔ),與廠房結(jié)構(gòu)脫開。
管道支架:加裝橡膠減震墊,避免空調(diào)機組、風(fēng)機等振動傳遞至潔凈區(qū)。
五、給排水與電氣系統(tǒng)設(shè)計
1、給排水系統(tǒng):
給水:采用不銹鋼管道,支管設(shè)置倒流防止器,水質(zhì)符合《電子級水》標(biāo)準(zhǔn)。
排水:暗敷排水管道,坡度≥1%,地漏采用潔凈型,水封高度≥50mm。
純水系統(tǒng):設(shè)置預(yù)處理、反滲透、EDI模塊,產(chǎn)水電阻率≥18MΩ·cm,管道采用衛(wèi)生級不銹鋼或Clean-PVC。
2、電氣系統(tǒng):
供電:雙回路供電,關(guān)鍵設(shè)備(如空調(diào)機組)配置UPS不間斷電源。
照明:采用LED潔凈燈,照度≥300lx,無頻閃、無紫外線。
消防:設(shè)置極早期煙霧探測器,采用七氟丙烷氣體滅火系統(tǒng),避免水漬損失。
六、施工安裝與質(zhì)量控制
1、施工流程:
基礎(chǔ)施工:優(yōu)先完成設(shè)備基礎(chǔ)及地下管道敷設(shè),避免后期開挖破壞潔凈區(qū)。
主體結(jié)構(gòu):同步進(jìn)行鋼結(jié)構(gòu)安裝與圍護(hù)結(jié)構(gòu)封閉,縮短工期。
裝飾裝修:先安裝防靜電地板,再施工墻面與頂面,最后安裝門窗及過濾器。
2、關(guān)鍵工序控制:
管道焊接:不銹鋼管道采用氬弧焊,層間溫度≤60℃,焊縫內(nèi)表面呈銀白色。
過濾器安裝:高效過濾器安裝前進(jìn)行檢漏測試,漏風(fēng)率≤0.1%。
地面施工:環(huán)氧自流平分兩遍涂刷,每遍厚度≤1mm,24小時內(nèi)禁止通行。
3、質(zhì)量驗收:
潔凈度測試:采用粒子計數(shù)器檢測≥0.5μm顆粒數(shù),萬級標(biāo)準(zhǔn)≤3,520,000個/m3。
風(fēng)速與壓差:送風(fēng)風(fēng)速0.45±0.05m/s,相鄰潔凈區(qū)壓差≥5Pa。
通過以上措施,可顯著提升建造效率,確保電子光學(xué)潔凈廠房快速投產(chǎn)后穩(wěn)定達(dá)標(biāo)。建議選擇有電子行業(yè)經(jīng)驗的EPC總包商,減少接口風(fēng)險。